Тез термикалык күйгүзүүчү сусцептор

Өркүндөтүлгөн жарым өткөргүч процесстерде Rapid Thermal Processing (RTP) кошулмаларды активдештирүү, силициддерди пайда кылуу жана диэлектриктик күйгүзүү үчүн так жылуулук көзөмөлүнө жетишүүдө маанилүү ролду ойнойт. Ар бир RTA системасынын борборунда Rapid Thermal Processing Susceptor жылуулук булагы менен кремний пластиналарынын ортосундагы негизги жылуулук интерфейси катары кызмат кылат, температуранын бирдейлигине жана процесстин туруктуулугуна түздөн-түз таасир этет. Semixlab компаниясынын RTA Susceptorу жогорку температурадагы, кыска мөөнөттүү жылуулук цикли үчүн иштелип чыккан, бул өнүккөн Rapid Thermal Processing (RTP) ыкмаларында кеңири таралган тез ысытуу жана муздатуу шарттарында ырааттуу жана кайталануучу жылуулук алмашууну камсыз кылат.

Semixlab компаниясынын SiC менен капталган графит Susceptorу өтө жогорку тазалыктагы графиттен жасалган, ал өзгөчө жылуулук өткөрүмдүүлүгүн жана температуранын тез реакциясы үчүн көзөмөлдөнгөн жылуулук массасын камсыз кылат, ошол эле учурда жылуулук кечигүүсүн минималдаштырат. Графиттин негизи беттин туруктуулугун жогорулаткан, бөлүкчөлөрдүн пайда болушун баскан жана жылуулук шокторуна, кычкылданууга жана химиялык коррозияга туруктуулукту бир кыйла жакшырткан инерттүү кремний карбиди (SiC) коргоочу катмары менен капталган.

RTP процесстеринде RTA Susceptor пластинанын бетиндеги жылуулук талаасын турукташтырууда маанилүү ролду ойнойт. Нурлануу энергиясын натыйжалуу сиңирип жана аны бирдей кайра нурлантуу менен, susceptor пластиналардын ичиндеги жана ортосундагы температура градиенттерин минималдаштырат. Бул бирдейлик ион имплантациясын активдештирүү учурунда жука пленканын каршылыгын так көзөмөлдөөгө жетишүү, металл силицидинин пайда болушу учурунда фазанын туруктуулугун сактоо жана диэлектриктик күйгүзүү учурунда пленканын бирдей эмес чыңалуусунун алдын алуу үчүн абдан маанилүү.

Semixlab компаниясынын Wafer Heating Susceptor пластинасы негизги RTP жана RTA жабдууларынын платформалары менен шайкеш келүү үчүн оптималдаштырылган, 200 мм жана 300 мм пластина өлчөмдөрүн колдойт. Анын SiC менен капталган бети кайталануучу жылуулук циклдери учурунда аз газ бөлүп чыгарууну жана эң сонун эмиссиялык туруктуулукту көрсөтөт, бул температураны так калибрлөөгө жана булгануудан же техникалык тейлөөдөн улам жабдуулардын иштебей калуу убактысын азайтууга жардам берет.

Өндүрүш жагынан алганда, Semixlab компаниясынын тез термикалык күйгүзүүчү сусцептору электрдик бирдейликке, кемчиликтердин көрсөткүчтөрүнө жана жабдуулардын жалпы натыйжалуулугуна (OEE) таасир этүүчү маанилүү процесстик компонент болуп саналат. Жогорку тазалыктагы материалдарды, далилденген каптоо технологиясын жана процесске багытталган дизайнды интеграциялоо менен, Semixlab туруктуу жылуулук иштешин камсыз кылган, бөлүкчөлөрдүн булгануу коркунучун минималдаштырган жана узак мөөнөттүү процесстин туруктуулугуна жетишкен өнүккөн RTA субстрат чечимин сунуштайт. Андан да маанилүүсү, Semixlab жарым өткөргүч RTP процесстери үчүн алдыңкы технологияларды жана ылайыкташтырылган RTA сусцептор чечимдерин берүүгө умтулат. Биз Кытайдагы сиздин узак мөөнөттүү өнөктөшүңүз болууну чын жүрөктөн күтөбүз.