EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Кварц үстүнкү шакекчеси
Quartz Top Ring 0200-02626 - бул плазмалык иштетүү камераларында, мисалы, гравюра жана PVD системаларында колдонуу үчүн иштелип чыккан так инженердик жарым өткөргүч кварц компоненти. Жогорку тазалыктагы эритилген кварцтан жасалган бул шакек плазмалык коррозияга, жылуулук стрессине жана жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү чөйрөсүндө көп кездешүүчү химиялык реакцияларга эң сонун туруктуулукту камсыз кылат. Керектелүүчү камеранын компоненти катары Quartz Top Ring 0200-02626 камеранын тазалыгын сактоодо, жабдууларды коргоодо жана ишенимдүү пластина өндүрүшүн камсыз кылууда маанилүү ролду ойнойт. Сиздин сурооңузду чыдамсыздык менен күтөбүз.
баяндоо
Кварцтын үстүнкү шакекчеси 0200-02626 – жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүчү жабдууларда колдонулган жогорку тактыктагы кварц компоненти. Оёп чыгаруу жана физикалык буу чөктүрүү (PVD) камералары сыяктуу плазманы көп талап кылган чөйрөлөрдө иштөө үчүн иштелип чыккан бул кварц шакекчеси камеранын ичиндеги маанилүү коргоочу жана процессти турукташтыруучу элемент катары кызмат кылат.
Semixlab компаниясында биз заманбап пластина өндүрүүчү жайлардын катуу талаптарына жооп берүү үчүн иштелип чыккан жогорку сапаттагы жарым өткөргүчтөрдүн запастык бөлүктөрү жана так кварц компоненттери менен камсыз кылабыз. 0200-02626 кварц үстүнкү шакекчеси эң сонун жылуулук туруктуулугун, плазмага туруктуулугун жана булганууну көзөмөлдөөнү камсыз кылуу үчүн жогорку тазалыктагы эритилген кварцты колдонуу менен өндүрүлөт.
Продукт Обзор
Quartz Top Ring 0200-02626 адатта жарым өткөргүчтүү процесстик камеранын жогорку бөлүгүнө, пластинаны иштетүүчү аймакты курчап же ага тегиздеп орнотулат. Ал плазмалык иштетүү системаларында коргоочу жана агым турукташтыруучу компонент катары кеңири колдонулат.
Негизги продукт маалымат
| нерсе | баяндоо |
| продукт Name | Кварц үстүнкү шакекчеси |
| Part саны | 0200-02626 |
| буюм | Жогорку тазалыктагы эритилген кварц |
| Компоненттин түрү | Жарым өткөргүч жабдуулардын запастык бөлүгү |
| арыз | Оюу / PVD / Плазма иштетүү камералары |
| Category | Камераны коргоо жана процессти башкаруу компоненти |
| жабдуучу | Semixlab |
Катуу өлчөмдүү чыдамдуулук жана жогорку материалдык тазалык менен өндүрүлгөн Quartz Top Ring туруктуу иштетүү чөйрөсүн жана пластинанын туруктуу чыгышын сактоого жардам берет.
Типтүү структуралык өзгөчөлүктөр
Quartz Top Ring 0200-02626 жарым өткөргүчтүү иштетүү камералары менен интеграциялоо үчүн оптималдаштырылган геометрия менен өндүрүлгөн.
типтүү дизайн өзгөчөлүктөрү төмөнкүлөрдү камтыйт:
● Так ички диаметр (ID) пластина иштетүү аймагына туураланган
● Сырткы диаметр (OD) камеранын калкандарынын же арматураларынын ичине бекем орнотуу үчүн иштелип чыккан
● Механикалык туруктуулукту жакшыртуу үчүн тепкичтүү же оюк профилдер
● Плазманы жана газды бөлүштүрүүгө жардам берүү үчүн кошумча газ агымынын уячалары же тешиктери
● Бөлүкчөлөрдүн пайда болушун минималдаштыруу үчүн жылтыратылган кварц беттери
● Ырааттуу орнотуу жана кайталануучулугу үчүн жогорку тактыктагы иштетүү
Бул структуралык мүнөздөмөлөр жогорку вакуумдук жана жогорку плазмалык чөйрөлөрдө ишенимдүү иштөөнү камсыз кылууга жардам берет.
Тиркемелер
Жарым өткөргүч жабдуулардын ичиндеги функция
Жарым өткөргүч иштетүү системаларынын ичинде Quartz Top Ring камеранын иштешине жана пластинанын сапатына түздөн-түз таасир этүүчү бир нече маанилүү ролдорду ойнойт.
Плазмалык коргоо: Шакек плазма чөйрөсү менен камеранын маанилүү компоненттеринин ортосунда коргоочу тосмо катары кызмат кылат, плазманын металл структураларына түздөн-түз таасиринин алдын алат.
Камера коргоосу: Кварц үстүнкү шакекчелери курмандык компоненттери катары кызмат кылат, чөкмө калдыктары же оюу реакциялары сыяктуу процесстин кошумча продуктуларын сиңирип алат. Бул кымбат баалуу камера жабдыктарын бузулуудан коргоого жардам берет.
Процесстин туруктуулугу: Плазма аймагын калыптандыруу жана пластинанын четинин айланасындагы туруктуу аралыкты сактоо менен, кварц шакекчеси плазманын туруктуу жүрүм-турумуна жана кайталануучу иштетүү шарттарына өбөлгө түзөт.
Четтердин бирдейлигин көзөмөлдөө: Туура иштелип чыккан кварц шакекчелери газ агымын жана плазманын бөлүштүрүлүшүн жөнгө салууга жардам берет, бул пластинанын четтеринин бирдейлигин жана жалпы процесстин натыйжалуулугун жакшыртат.
атаандаштык артыкчылыктары
Материал жана артыкчылыктар
Quartz Top Ring 0200-02626 жогорку тазалыктагы эритилген кварцтан (SiO₂) жасалган, бул материал плазма жана жогорку температура шарттарында мыкты иштөөсүнөн улам жарым өткөргүч жабдууларда кеңири колдонулат.
Негизги материалдык артыкчылыктары:
1. Эң сонун плазмалык каршылык
Эритилген кварц иондук бомбалоого жана плазмалык коррозияга күчтүү туруктуулукту көрсөтөт, бул аны катаал жарым өткөргүчтөрдү иштетүү чөйрөлөрү үчүн идеалдуу кылат.
2. Металлдын өтө аз булганышы
Жогорку тазалыктагы кварц металл кошулмаларынын өтө төмөн деңгээлин камтыйт, бул пластинаны иштетүү учурунда бөлүкчөлөрдүн пайда болушунун жана булганышынын алдын алууга жардам берет.
3. Жогорку жылуулук туруктуулугу
Кварц плазма камераларында көп кездешүүчү жогорку температурада структуралык бүтүндүктү сактайт.
4. Электр изоляциясы
Өткөргүч эмес материал катары, кварц плазма камераларынын ичиндеги электр талаасын турукташтырууга жардам берет, бул бирдиктүү иштетүү шарттарына өбөлгө түзөт.
5. Химиялык инерттүүлүк
Кварц жарым өткөргүчтөрдү жасоодо колдонулган реактивдүү процесстик газдарга күчтүү туруктуулукту көрсөтөт.
Бул касиеттер эритилген кварцты камераны коргоочу компоненттер жана плазмага ачык бөлүктөр үчүн артыкчылыктуу материалга айлантат.
Биздин кызматтар
Semixlab буюмдар дүкөнү
