SiC керамикалык робот колдору жарым өткөргүч заводдордо тактыкты жана булганууну көзөмөлдөөнү кантип жакшыртат

Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө өтө кичинекей бөлүкчөлөр же тегиздөө каталары да олуттуу көйгөйлөргө алып келиши мүмкүн, мисалы, өндүрүштүн төмөндөшү жана кымбат иштебей калуу. Ушундан улам, пластиналарды жылдыруу үчүн колдонулган жабдуулар өтө так жана таза болушу керек. SiC керамикалык робот Колдор абдан популярдуу болуп баратат, анткени алар бекем жана ысыкка жана химиялык заттарга туруктуу, ошол эле учурда өтө аз бөлүкчөлөрдү пайда кылат. Металл же пластикалык колдордон айырмаланып, алар кайталануучу жогорку температурадагы процесстерди ийилбестен же булгоочу заттарды чыгарбастан жүргүзө алышат. Инженерлер жана фабрика операторлору үчүн бул пластиналар коопсузураак иштетилет, процесстер ырааттуу бойдон калат жана өндүрүш жалпысынан жылмакай жүрөт дегенди билдирет.

Эмне үчүн SiC керамикасы жогорку тактыктагы пластиналарды иштетүү үчүн идеалдуу?

Жарым өткөргүч фабрикасында пластиналарды иштетүү өтө назик процесс, анткени ар бир пластина жука жана морт катмарлар менен капталган, алар оңой бузулушу мүмкүн. Жылдырууда же жайгаштырууда кичинекей ката да өндүрүмдүүлүктү төмөндөтүүчү кемчиликтерди жаратышы мүмкүн. Дал ушул жерде SiC керамикалык робот Колдор чындап эле өзгөчөлөнүп турат. Кремний карбидинен жасалган бул колдор укмуштуудай катуу жана жогорку температурада да туруктуу бойдон калат, ошондуктан алар металл колдор сыяктуу кыйшайбайт же кеңейбейт. Бул туруктуулук пластиналарды эпитаксия же оюу сыяктуу татаал процесстерде туруктуу тактык менен кармоого жана жылдырууга мүмкүндүк берет. SiC ошондой эле химиялык заттарга өтө туруктуу, бул маанилүү, анткени пластиналар көбүнчө реактивдүү газдар же плазма бар камералар аркылуу өтөт. Дат басып же бөлүкчөлөрдү бөлүп чыгарышы мүмкүн болгон салттуу металлдардан айырмаланып, SiC инерттүү бойдон калат жана таза чөйрөнү сактоого жардам берет, бул өнүккөн чиптерди бузуп салуучу булгануу коркунучун азайтат. Материалдын жеңил салмагы ошондой эле моторлордун жана аткаруучулардын натыйжалуураак иштешине мүмкүндүк берет, жооп берүү убактысын жакшыртат жана титирөөнү азайтат, бул миңдеген пластина кыймылдарында так жайгаштырууну жеңилдетет жана ишенимдүү кылат. Реалдуу дүйнөдөгү натыйжалар муну тастыктайт: бир 200 мм фабрикада металлдан SiC колдоруна өтүү пластинанын сынышын экиге бөлүп, бөлүкчөлөр менен байланышкан кемчиликтерди бир топ азайтат, ал эми материалдын кайталанган жогорку температура циклдериндеги бышыктыгынын аркасында тейлөө азыраак болуп калды. Тактык тазалыгына жана ишенимдүүлүгүнө артыкчылык берген инженерлер жана фабрика операторлору үчүн SiC керамикалык колдору өндүрүмдүүлүктү жана бышыктыкты айкалыштырган, пластиналардын коопсуздугун жана процесстердин ырааттуулугун кошумча тобокелдиктерди кошпостон камсыз кылган чечимди сунуштайт.

SiC салттуу материалдарга салыштырмалуу бөлүкчөлөрдүн пайда болушун кантип жок кылат

Жарым өткөргүч фабрикаларында бөлүкчөлөрдүн булганышы чоң көйгөй болуп саналат, анткени кичинекей чаң, металл же таштандылар да пластиналарга жабышып, кемчиликтерди жаратышы мүмкүн, айрыкча чиптин өзгөчөлүктөрү нанометрдик масштабга чейин кичирейгенде. Металлдан же пластиктен жасалган салттуу робот колдору көйгөйдү ого бетер күчөтүшү мүмкүн. Металл колдору убакыттын өтүшү менен эскирип, микроскопиялык кабырчыктарды пайда кылышы мүмкүн, ал эми пластмассалар жогорку температурада же реактивдүү газдардын таасиринде бузулуп, бөлүкчөлөрдү таза бөлмөгө чыгарышы мүмкүн. SiC керамикалык Колдор бул маселени башкача чечет. Кремний карбиди өтө катуу жана химиялык жактан туруктуу, ошондуктан ал оңой эскирбейт жана жогорку температурада, плазмада же катуу химиялык заттарда бөлүкчөлөрдү чыгарбайт. Анын жылмакай, инерттүү бети пластиналардын булганууну көтөрбөстөн жылышына мүмкүндүк берет, бул өндүрүмдүүлүктү сактоо жана кымбат баалуу кайра иштетүүдөн качуу үчүн өнүккөн процесстер үчүн абдан маанилүү. SiC колдорун өндүрүү да маанилүү. Так бышыруу жана иштетүү минималдуу беттик кемчиликтери бар тыгыз, бир түрдүү түзүлүштү пайда кылат, бул колдорду тазалоону жеңилдетет жана чаңды кармоого азыраак дуушар кылат. SiC колдоруна өткөн фабрикаларда көп учурда бөлүкчөлөрдүн саны азаят, пластинанын кемчиликтери азаят жана тазалоо циклдери тобокелдиксиз узарат. Жогорку көлөмдөгү өндүрүштө бул азыраак үзгүлтүктөрдү, азыраак токтоп калууну жана пластинанын сапатын туруктуураак дегенди билдирет. Пластинаны таза кармоого багытталган инженерлер үчүн SiC керамикалык колдору көрүнбөгөн булгануу коркунучун минималдаштыруу менен материалдарды коопсуз жылдыруунун ишенимдүү жолун камсыз кылат.