EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
SiC киргизүү шакекчеси 0200-21111
AMAT 0200-21111 SiC киргизүү шакекчеси - бул өнүккөн жарым өткөргүч өндүрүш жабдууларында колдонуу үчүн иштелип чыккан тактык менен иштелип чыккан кремний карбидинин (SiC) камера компоненти. Агрессивдүү плазма таасирине, жогорку температурага жана химиялык реактивдүү процесстик чөйрөлөргө туруштук берүү үчүн курулган бул киргизүү шакекчеси камеранын жабдууларын коргоодо жана туруктуу процесстик шарттарды сактоодо маанилүү ролду ойнойт. Жогорку тазалыктагы SiCден жасалган бул компонент плазма эрозиясына, жылуулук стрессине жана бөлүкчөлөрдүн пайда болушуна эң сонун туруктуулукту камсыз кылат, бул аны камеранын бүтүндүгү жана пластинанын чыгышы эң маанилүү болгон чөкмө жана оюу колдонмолору үчүн идеалдуу тандоо кылат. Биз сиздин сурооңузду кубануу менен кабыл алабыз.
баяндоо
AMAT 0200-21111 SiC киргизүү шакекчеси - бул колдонмо материалдарынын жарым өткөргүч технологиялык шаймандарында кеңири колдонулган жогорку өндүрүмдүү кремний карбидинин (SiC) камера компоненти. Экстремалдык плазма жана жогорку температуралуу чөйрөлөр үчүн иштелип чыккан, ал процесстин туруктуулугун сактоо менен камеранын жабдууларын коргоодо маанилүү ролду ойнойт.
Продукциянын түрү жана материалы
Продукциянын түрү: Шакек / камеранын лайнер компонентин киргизүү
Материал: Жогорку тазалыктагы кремний карбиди (SiC)
Дизайн функциясы: Плазмага дуушар болгон камера аймактары үчүн эскирүүгө туруктуу, жогорку температурадагы кошумча
Негизги материалдык касиеттери:
● Жогорку катуулук жана эскирүүгө туруктуулук: камеранын дубалдарын плазма эрозиясынан коргойт
● Өзгөчө жылуулук туруктуулугу: 600°C жогору температурада ишенимдүү иштейт
● Химиялык инертүүлүк: Фтор жана хлор негизиндеги химиялык заттарга туруктуу
● Жылуулук өткөрүмдүүлүгү: жылуулуктун бирдей бөлүштүрүлүшүн камсыздайт жана ысык чекиттердин пайда болушун азайтат
Жарым өткөргүч жабдуулардагы функционалдык ролдор
0200-21111 SiC киргизүү шакекчеси - бул камераны коргоонун тактык менен иштелип чыккан компоненти. Анын негизги функциялары төмөнкүлөрдү камтыйт:
1. Камеранын дубалын коргоо
● Кварцты, Al₂O₃ же металл компоненттерин плазманын түз таасиринен коргойт
● Эрозияны азайтат жана компоненттердин иштөө мөөнөтүн узартат
2. Компоненттерди колдоо жана тегиздөө
● Лайнерлерди, четки шакекчелерди жана душ баштарынын түзүлүштөрүн турукташтырат
● Концентрдүүлүктү жана камеранын так геометриясын сактайт
3. Бөлүкчөлөрдү башкаруу жана процесстин туруктуулугу
● Жогорку катуулук жана жылмакай SiC беттери бөлүкчөлөрдүн пайда болушун азайтат
● Плазманын бирдейлигин жакшыртып, пластинаны ырааттуу иштетүүгө мүмкүндүк берет
Жалпы ката режимдери
Процесс жана техникалык тейлөө көз карашынан алганда, негизги бузулуу механизмдери төмөнкүлөрдү камтыйт:
● Плазма эрозиясы: Реактивдүү газдардын узак убакытка таасир этишинен улам материалдын акырындык менен жоголушу
● Термикалык стресстен жарака кетүү: Тез жылуулук циклинен улам пайда болгон микрожарыктар
● Четтердин сынып кетиши жана механикалык эскириши: Туура эмес орнотуудан же колдонуудан улам келтирилген зыян
● Бөлүкчөлөрдүн булганышы: Беттик деградация микробөлүкчөлөрдүн көбөйүшүнө алып келет
● Өлчөмдүү дрейф: Геометриядагы анча чоң эмес өзгөрүүлөр камеранын пломбаланышына же тегизделишине таасир этет
Semixlab инженериясынын келечеги
0200-21111 SiC киргизүү шакеги камеранын узак мөөнөттүү иштеши жана процесстин кайталанышы үчүн абдан маанилүү.
Активдүү процесстин компоненти болбосо да, анын бузулушу түздөн-түз төмөнкүлөргө таасир этиши мүмкүн:
● Плазманын бирдейлиги жана оюу/чөкмө консистенциясы
● Вафли кемчилигинин тыгыздыгы жана түшүмдүүлүгү
● Куралдарды иштетүү терезесинин жалпы туруктуулугу
Сунушталган практикалар:
● Ар бир PM циклинде микро-жарыктарды жана беттин эскирүүсүн текшериңиз
● Орнотуу учурунда металл менен керамиканын байланышынан алыс болуңуз
● Колдонуу жана плазманын таасири көрсөткүчтөрүнө жараша мезгил-мезгили менен алмаштырып туруу
Бул ыкма жабдуулардын максималдуу иштөө убактысын, процесстин ырааттуу иштешин жана бөлүкчөлөр менен байланышкан кемчиликтерди минималдаштырууну камсыз кылат.
Биздин кызматтар
