EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Тешиктүү керамикалык вакуумдук патрон
Quick Толугураак:
1. Башка аталыштар: тешиктүү керамикалык Вакуум патрон, Poous SiC патрон, тешиктүү патрон.
2. Колдонмо: Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү, пластиналарды кесүү, так иштетүү, жогорку температурадагы эпитаксия, оюу, ион имплантациялоо жана башка сценарийлер үчүн жарактуу пластиналарды жана куймаларды тактык менен адсорбциялоо жана бекитүү үчүн иштелип чыккан жогорку натыйжалуу вакуумдук адсорбциялык түзүлүш.
3. Негизги параметрлер:
Көзөнөктүүлүгү жөнгө салынуучу (10-200μm).
Ультра жогорку температура (≤1600°C), термикалык соккуга эң сонун каршылык.
Адсорбциялык вакуум: стандарттык -90кПа (100кПа чейин ылайыкташтырылышы мүмкүн).
Сорулуучу чөйчөктүн өлчөмү: 4/6/8/12 дюймдук пластиналарды колдоо, куйма өлчөмүн ыңгайлаштырса болот.
баяндоо
Керамикалык вакуумдук патрон – пластинкаларды жана куймаларды так адсорбциялоо жана бекитүү үчүн иштелип чыккан жогорку натыйжалуу вакуумдук адсорбциялык түзүлүш. Ал бир калыпта адсорбциялык күч бөлүштүрүүгө жана жогорку туруктуулукка жетүү үчүн аба каналдарынын жана тешикчелердин ылайыкташтырылган дизайны менен айкалышкан, тешиктүү керамикалык + металл сырткы шакекченин курама структурасын кабыл алат. Жарым өткөргүч өндүрүшү, пластинкаларды кесүү, так иштетүү жана башка сценарийлер үчүн ылайыктуу, жогорку температураны, жогорку ылдамдыктагы кыймыл чөйрөсүн колдоо, ар кандай өлчөмдөгү пластиналар / куймалардын шайкештик талаптарына жооп бере алат.
Ылайыктуу кызматы
Өлчөмдү жана жүктү ыңгайлаштыруу
Стоматалар жана аба жолдорун оптималдаштыруу
Өзгөчө чөйрөгө көнүү
Дизайн үлгүсү
Тиркемелер
Жарым өткөргүчтөрдү жасоо
Эпитаксиалдык өсүш: SiC пластинкаларынын бузулушун жана булганышын болтурбоо үчүн жогорку температурада туруктуу адсорбциясы.
Литография жана оюу: Графикалык тегиздөөнүн тактыгын камсыз кылуу үчүн жогорку ылдамдыктагы кыймылдуу платформада так жайгаштыруу (тездөө ≤10G).
Куйманы кайра иштетүү
Кесүү жана майдалоо: титирөөдөн келип чыккан четтеги крекингди басуу үчүн оор кристалл куймасын (мисалы, сапфир, кремний карбидинин куймасы) адсорбциялоо.
Илимий изилдөөлөр жана атайын технология
Жогорку температурада күйгүзүү: көзөнөк кремний карбид соргучтары 1600°C деформациясыз жана булгануусуз узак убакыт бою иштейт.
Вакуумдук каптоо: PVD/CVD боштук чөйрөсүнө шайкеш келген жогорку аба өткөрбөйт.
атаандаштык артыкчылыктары
Негизги структурасы жана материалдык артыкчылыктары
1.Multilayer курама дизайн
Surface катмары: порозиялуу керамика (кошумча тешиктүү кремний карбиди же тешиктүү графит), апертура жөнгө салынуучу (10-200μm) жергиликтүү стресс топтолушуна жол бербөө үчүн пластина бетине адсорбция күчүн бирдей өткөрүп берүүнү камсыз кылуу.
Матрица: Структуралык колдоону жана аба өткөрбөй коюуну камсыз кылуу үчүн жогорку катуу металл каркас (дат баспас болоттон жасалган же алюминий эритмеси).
Аба жолдору жана тешикчелер: Так иштетилген аба жолдорунун ички тармагы жана бирдей бөлүштүрүлгөн микротешикчелер тез вакуумдук экстракцияны (-90кПа чейин адсорбция күчү) жана заматта чыгарууну колдойт.
2. Материалдык касиеттерин салыштыруу
| буюм | Көңүлдүү кремний карбиди | Тешиктүү графит |
| Температура каршылыгы | Ультра жогорку температура (≤1600°C), термикалык соккуга эң сонун каршылык | Орточо жогорку температура (≤800°C), жакшыраак жылуулук өткөрүмдүүлүк |
| Химиялык туруктуулук | Кислота жана щелочтук коррозияга туруктуулук, плазмалык коррозияга туруктуулук | кычкылданбаган газдарга туруктуу, арзаныраак |
| колдонулуучу сахна | Жогорку температурадагы эпитаксия, оюу, иондук имплантация | Вафли кесүү, майдалоо, таңгактоо |
3. Негизги аткаруу жана техникалык параметрлери
| баяндоо | пикир |
| Чак өлчөмү | 4/6/8/12 дюймдук пластиналарды колдоо, куйма өлчөмүн ыңгайлаштырса болот |
| жүктөө | Бир табак максималдуу жүк 50kg (бийиктиги ≤300mm) |
| Иштөө температурасы | Тешиктүү кремний карбиди: -50°C~1600°C; Тешиктүү графит: -50°C~800°C |
| Адсорбциялык вакуум | Стандарттык -90кПа (-100кПа чейин ыңгайлаштырылган) |
FAQ
С: Көңүлдүү кремний карбиди жана тешиктүү графит патронду кантип тандоо керек? Жогорку температурадагы процесстерде көзөнөк кремний карбиди менен графит патронунун негизги айырмачылыктары эмнеде? Колдонмо сценарийи үчүн туура материалды кантип тандоо керек?
A: Кремний карбидинин тешикчеси:
Температурага каршылык: өтө жогорку температурада туруктуу иштей алат ≤1600 °C (мисалы, SiC эпитаксиси, жогорку температурада күйгүзүү), температуранын кескин өзгөрүшүнө ылайыктуу, мыкты термикалык шок туруктуулугу.
Коррозияга туруштук берүү: күчтүү кислота, щелоч жана плазма эрозиясына туруштук бериңиз, оюу, ион имплантациялоо жана башка жегич газ процессине ылайыктуу.
Тешиктүү графит Чак:
Жылуулук өткөрүмдүүлүк: Жогорку жылуулук өткөрүмдүүлүк (200-400 Вт/м·К), тез жылуулук өткөрүүнү талап кылган сценарийлер үчүн ылайыктуу (мисалы, пластинаны кесүүчү жылуулук диссипациясы).
Экономика: Төмөн наркы, ≤800°C орточо температурадагы чөйрөгө ылайыктуу (мисалы, таңгактоо, майдалоо сыяктуу).
Тандоо сунуштары:
Эгерде процесстин температурасы > 800°C болсо же коррозияга туруктуулук талап кылынса, анда кеуектүү кремний карбиди артыкчылыкка ээ болот; Эгерде үнөмдүү жана төмөнкү процесстин температурасына умтулсаңыз, тешиктүү графитти тандай аласыз.
