EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Силикон пластинкасы үчүн жогорку тазалыктагы кварц кайыгы
Жогорку тазалыктагы кварц кайыгы жарым өткөргүч пластиналарды кайра иштетүү өнөр жайынын маанилүү компоненти болуп саналат, ал жогорку температура процесстеринде кремний пластиналарды коопсуз кармап турууга жана колдоого арналган. Кварц кайыктары диффузиядан кычкылданууга жана күйдүрүүгө чейин пластинанын туруктуулугун камсыздайт жана булгануу коркунучун азайтат. Тактык менен башкарылган жарым өткөргүч өндүрүшүндө ишенимдүү пластинка ташыгычтар ырааттуу иштөөгө, жогорку түшүмдүүлүккө жана аппараттын жогорку сапатына жетишүү үчүн маанилүү.
баяндоо
Жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү дүйнөсүндө тактык жана тазалык биринчи орунда турат. Кварц кайыгы – бул ар кандай жогорку температурадагы процесстерде кремний пластинкаларын кармоо жана өткөрүү үчүн колдонулуучу алмаштырылгыс жабдык.
Кварц кайыктары вафли жасоонун бир нече негизги этаптарында маанилүү:
● Диффузия: Бул процессте кварц кайыгында кремний пластинкасы бар, алар бор, фосфор же мышьяк сыяктуу кошумча заттарды киргизүү үчүн меште ысытылат. Кварцтын өтө тазалыгы бул кошулмалардын булганбашын камсыздайт, бул
каалаган электрдик касиеттери.
● кычкылдануу: Кычкылдануу учурунда пластиналар жогорку температурадагы меште кычкылтек менен ысытылат, алардын бетинде кремний диоксидинин (SiO2) жука, бирдей катмары өсөт. Бул катмар изолятор, коргоочу тосмо жана маска материалы катары кызмат кылат.
● Химиялык буулардын чөктүрүлүшү (CVD): Бул ыкма жука материалдардын пленкаларын буу абалынан пластинкаларга түшүрөт. Кварц кайыктары CVD реакторунда пластиналарды кармоо үчүн колдонулат, алар жогорку температурада реактивдүү газдарга дуушар болушат.
● Жылуулоо: Бул жылуулук менен дарылоо ион имплантациясынан же башка жогорку энергиялуу процесстерден кийин дефектиктерди оңдоо, кошумча заттарды активдештирүү жана кремний пластинкаларынын кристаллдык түзүлүшүндөгү стрессти жоюу үчүн колдонулат.
Кварц кайыгынын сапаты кремний пластинкаларынын түшүмдүүлүгүнө жана иштешине түздөн-түз таасир этет. Биздин жогорку тазалыктагы кварц кайыктары процесстериңиз үчүн өзгөчө артыкчылыктарды сунуштайт:
● Өзгөчө тазалык: Биздин кварц материалында K, Na жана Li сыяктуу металл кошулмаларынын өтө аз курамы (<10ppm) бар. Бул жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө абдан маанилүү, анткени анда аз өлчөмдөгү кошулмалар да кошулма катары кызмат кылып, кемчиликтерге алып келип, даяр чиптердин электрдик касиетин төмөндөтүшү мүмкүн.
● Жогорку жылуулук туруктуулугу: Биздин кварц кайыктарыбыздын жогорку термикалык соккуга туруктуулугу аларга тез жылытуу жана муздатуу циклдерин жарылып же деформацияланбастан көтөрүүгө мүмкүндүк берет. Бул жабдуулардын иштөө мөөнөтүн узартат жана токтоп калууларды азайтат. Биздин кварц кайыктары 1200Сге чейинки температурада үзгүлтүксүз колдонууга туруштук бере алат.
● Жогорку температурага туруктуулугу: 1200С чейин иштөө температурасы менен, биздин кварц кайыктар диффузия, кычкылдануу жана күйдүрүү үчүн талап кылынган интенсивдүү термикалык чөйрөлөр үчүн эң сонун ылайыктуу.
● Коррозияга мыкты туруктуулук: Кварц материалы вафлиди даярдоо процессинде колдонулган кислоталардын жана башка жегичтердин химиялык чабуулуна өтө туруктуу болуп, узак мөөнөттүү туруктуулукту жана ишенимдүүлүктү камсыз кылат.
Жарым өткөргүч өнөр жайы тактыкты, ырааттуулукту жана тазалыкты талап кылат. Semixlab компаниясынын Жогорку тазалыктагы кварц кайыктары менен сиз пластинаны туруктуу иштетүүгө, булганууну азайтууга жана оптималдаштырылган түшүмдүүлүккө ишенесиз. Кремний пластинкасын иштетүү муктаждыктары үчүн ыңгайлаштырылган чечимдерди талкуулоо үчүн бүгүн биз менен байланышыңыз.
Биздин кызматтар
Semixlab буюмдар дүкөнү
