Жарым өткөргүчтөр үчүн жогорку тазалыктагы изостатикалык графит

Semixlab Жогорку тазалыктагы изостатикалык графит, анын жогорку тазалыгы, майда бүртүкчөлүү структурасы, бир калыптагы тыгыздыгы, термикалык соккуга туруктуулугу жана мыкты иштетүү жөндөмдүүлүгүнөн улам жарым өткөргүч өнөр жайында кеңири колдонулат. Төмөндө негизги даяр өнүмдөр жана алардын маанилүү процесстердеги тиешелүү ролдору:

Жарым өткөргүч колдонмолору үчүн изостатикалык графит

1. MOCVDде (металл-органикалык химиялык буулардын катмары)

MOCVD GaN, GaAs жана SiC эпитаксиалдык катмарларын жасоонун негизги процесси. Изостатикалык графит көбүнчө өндүрүү үчүн колдонулат:

● Суцепторлор: Реактордун ичинде пластиналарды кармап турган жана айландыруучу вафли ташыгыч катары кызмат кылыңыз. Алар пластинка бетинде ырааттуу эпитаксиалдык өсүүнү камсыз кылуу менен бирдиктүү жылуулук өткөрүүнү камсыз кылат. Көбүнчө химиялык туруктуулукту жакшыртуу жана колдонуу мөөнөтүн узартуу үчүн CVD SiC же TaC менен капталган.

● Вафли ташыгычтар / Графит кайыктары: бир эле учурда бир нече пластиналарды жүктөө үчүн колдонулат. Алар пластинанын тегиздигин сактоо жана булганууну болтурбоо үчүн так иштетүүнү талап кылат.

● Жылыткыч элементтери: Графит жылыткычтары жогорку сапаттагы эпитаксия үчүн зарыл болгон туруктуу жана бирдей жылуулук талаасын камсыз кылат.

Негизги ролу: изостатикалык графит температуранын бирдейлигин, химиялык туруктуулукту жана эпитаксиалдык пленканын сапатына түздөн-түз таасирин тийгизген узак кызмат мөөнөтүн камсыз кылат.

2. Annealing & диффузиялык мештерде

Кошумча диффузия, кычкылдануу жана күйдүрүү сыяктуу жогорку температурадагы термикалык иштетүү этаптары негизинен изостатикалык графит компоненттерине көз каранды, анын ичинде:

● Диффузия мешинин кайыктары: Жогорку температурада күйгүзүү жана кошумча диффузия процесстери учурунда пластиналарды кармаңыз. Графит кайталанма жылуулук циклинде эң сонун жылуулук туруктуулукту жана минималдуу деформацияны камсыз кылат.

● Линерлер жана изоляция компоненттери: Графит каптамалары жана калканчтары мештин камераларын булгануудан коргойт жана температуранын бирдейлигин жакшыртат.

● Жылыткыч түтүктөр жана элементтер: Так жана ырааттуу жылуулукту жеткирип, жогорку температуралуу шарттарда каршылык жылыткычтары катары колдонулат.

Негизги ролу: изостатикалык графит компоненттери булгануусуз, туруктуу жана кайталануучу жылуулук менен дарылоого мүмкүндүк берет, бул кошумча затты активдештирүү жана кемчиликтерди азайтуу үчүн маанилүү.

3. SiC эпитаксисинде (4H-SiC, 6H-SiC өсүшү)

SiC эпитаксиалдык өсүшү өтө жогорку температураларды (>1500°C) жана коррозиялуу газ чөйрөсүн талап кылат. Изостатикалык графит өндүрүү үчүн колдонулат:

● SiC капталган кабылдагычтар: SiC эпитаксиси учурунда субстрат колдоо көрсөтүп, экстремалдык шарттарда эң сонун жылуулук бөлүштүрүүнү жана беттин туруктуулугун камсыз кылат.

● Графит калактары жана вафли ээлери: Айлануу жана газ агымы учурунда пластиналарды бекитип, өсүү ылдамдыгын жана катмардын калыңдыгын камсыздайт.

● Процесс түтүгүнүн компоненттери: Эпитаксиялык реакторлордун ичиндеги структуралык графит бөлүктөрү агрессивдүү чөйрөгө туруштук берип, тазалыкты сактайт.

Негизги ролу: SiC эпитаксисиндеги изостатикалык графит өлчөмдүү тактыкты, химиялык туруктуулукту жана пластинанын түшүмдүүлүгүнө жана эпитаксиалдык пленканын бирдейлигине түздөн-түз таасир этүүчү ишенимдүү жылуулук башкарууну камсыз кылат.

Кытайда жогорку тазалыктагы изостатикалык графиттин алдыңкы жеткирүүчүсү катары Semixlab жарым өткөргүчтөрдү кайра иштетүү өнөр жайы үчүн алдыңкы өнүмдөрдү жана техникалык чечимдерди камсыз кылууга умтулат. Биз сиздин сурооңузду каалаган убакта кабыл алабыз жана сиздин узак мөөнөттүү өнөктөшүңүз болууга чын жүрөктөн үмүттөнөбүз.