Тантал карбид менен капталган тигель
Semixlab компаниясынын тантал карбиди (TaC) капталган тигел жарым өткөргүчтөрдү иштетүүдө жогорку температурадагы жана химиялык агрессивдүү чөйрөлөр үчүн атайын иштелип чыккан. CVD TaC жыш каптоосу менен иштелип чыккан тигель мыкты термикалык туруктуулукту, коррозиядан коргоону жана структуралык туруктуулукту сунуштайт, бул аны SiC эпитаксиси, GaN өсүшү жана CVD/ALD колдонмолору үчүн идеалдуу кылат. Биздин премиум тигель технологиябыз менен процессиңиздин ишенимдүүлүгүн жогорулатыңыз жана булгануу коркунучун азайтыңыз.
баяндоо
Semixlab кызматтары
Semixlab компаниясында биз жарым өткөргүч R&D жана өндүрүш чөйрөлөрүнүн уникалдуу талаптарын түшүнөбүз. Биз сунуштайбыз:
● Ыңгайлаштырылган даярдоо кызматтары
Ар кандай геометриялардагы, калыңдыктардагы жана каптоо спецификацияларында атайын процесстин муктаждыктарына ылайыкташтырылган тигелдер.
● Чакан партия жана прототип заказдары
Ийкемдүү заказ өлчөмдөрү пилоттук линиялар, академиялык изилдөөлөр же алгачкы этапта иштеп чыгуу үчүн идеалдуу.
● Fast Lead Times & Global Delivery
Ыкчам өндүрүш циклдери жана дүйнө жүзү боюнча жеткирүү графигиңизди жана масштабды көбөйтүү муктаждыктарыңызды колдойт.
өзгөчөлүктөрү
| TaC каптоо физикалык касиеттери | |
| жыштыгы | 14.3 (г/см³) |
| Өзгөчө эмиссивдүүлүк | 0.3 |
| Жылуулук кеңейүү коэффициенти | 6.3*10-6/K |
| Катуулугу (HK) | 2000 HP |
| каршылык көрсөтүү | 1 × 10-5 Ом*см |
| Жылуулук туруктуулугу | <2500 ℃ |
| Графиттин өлчөмү өзгөрөт | -10~-20ум |
| Жабуунун калыңдыгы | ≥20um типтүү маани (35um±10um) |
Тиркемелер
Так каптоосунун уникалдуу физикалык артыкчылыктарын премиум графиттин эң сонун касиеттери менен айкалыштырган биздин тантал карбид менен капталган тигел негизинен төмөнкү жарым өткөргүч процесстерде колдонулат:
▶ MOCVD & HVPE тигел системалары
▶ SiC, GaN, GaAs эпитаксиалдык өсүшү
▶ Жогорку температурадагы күйдүрүү жана эрүү
▶ Advanced Wafer Fabrication жабдуулар
Semixlab TaC капталган тигель өнүккөн жарым өткөргүчтөрдү өндүрүүдө, өзгөчө өтө жогорку температуранын туруктуулугун, минималдуу булганууну жана химиялык туруктуулукту талап кылган процесстерде маанилүү ролду ойнойт - мисалы, эпитаксия, кристаллдын өсүшү жана химиялык буулардын катмары (CVD). Химиялык жактан инерттүү тоскоолду жана өзгөчө термикалык ийкемдүүлүктү камсыз кылуу менен, TaC капталган тигелдер процесстин бүтүндүгүн, материалдык тазалыгын жана жабдуулардын узак иштөөсүн камсыздайт.
Өзгөчөлөштүрүлүүчү өлчөмдөрү, каптоо калыңдыгы жана чакан партия колдоосу менен Semixlab өнүккөн жарым өткөргүч өндүрүшүнүн талаптарын канааттандыруу үчүн ылайыкташтырылган чечимдерди камсыз кылат. Биз чын жүрөктөн сиздин Кытайдагы узак мөөнөттүү өнөктөш болууга үмүттөнөбүз.
атаандаштык артыкчылыктары
Негизги артыкчылыктары: тантал карбидинин физикалык касиеттери
Тантал карбиди (TaC) өзүнүн ультра жогорку эрүү температурасы (~ 3880°C), өзгөчө катуулугу жана химиялык инерттүүлүгү менен белгилүү, бул аны жарым өткөргүч чөйрөдө колдонулган графит тигелдери үчүн идеалдуу коргоочу каптоо болуп саналат. TaC каптоо колдонуу төмөнкүдөй аткаруу пайда алып келет:
● Өтө жылуулук каршылык
Деформациясыз же деградациясыз өтө жогорку температурага туруштук берип, кристаллдын өсүшү жана жогорку температурада кайра иштетүү үчүн туруктуу шарттарды түзөт.
● Химиялык инерттүүлүк
Агрессивдүү галогендин негизиндеги газдарга жана кислоталарга туруктуу, адатта эпитаксия жана оюу процесстеринде колдонулат, кайчылаш булганууну алдын алат.
● Минималдуу бөлүкчөлөрдүн пайда болушу
TaC катмарынын жыш, жылмакай бети кабыктанууну жана бөлүкчөлөрдүн төгүлүшүн басат, таза бөлмө чөйрөлөрүндө кемчиликтин төмөн деңгээлин камсыз кылат.
● Мыкты жылуулук өткөрүмдүүлүк
Материалды иштетүүдө жылуулуктун бирдей бөлүштүрүлүшүн камсыздайт, түшүмдүүлүктү жана консистенцияны жакшыртат.
Алдыңкы жеткирүүчүлөрдүн негизги материалдары
Биздин тигелдер TOYO TANSO (Япония) сыяктуу жогорку деңгээлдеги жеткирүүчүлөрдөн алынган жогорку тазалыктагы графит субстраттарын колдонуу менен жасалып, структуралык бүтүндүктү жана каптоо шайкештигин камсыз кылат. Премиум графит менен өнүккөн TaC каптоосунун ортосундагы синергетика эң татаал шарттарда туруктуулукту да, аткарууну да жакшыртат.
Биздин кызматтар

Semixlab буюмдар дүкөнү


EN
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ




