SiC менен капталган планетардык сусцептор

Semixlab компаниясынын SiC менен капталган планетардык Susceptor каптамасы кийинки муундагы жарым өткөргүч эпитаксия жана CVD термикалык иштетүү үчүн иштелип чыккан, мында жылуулуктун бирдейлиги, кемчиликсиз өсүү жана камеранын узак мөөнөттүү туруктуулугу түзмөктүн чыгышы үчүн абдан маанилүү. Бул алып жүрүүчү атайын 1500°C жогору температурадагы чөйрөлөр жана кремний, SiC жана GaN эпитаксиалдык системаларында көп кездешүүчү татаал газ химиясы үчүн иштелип чыккан. Патенттелген SiC каптамасы булгануунун алдын алуучу жана талап кылынган өндүрүш фабрикаларында туруктуу, узак циклдүү иштөөнү камсыз кылуучу тыгыз, жогорку тазалыктагы коргоочу катмарды камсыз кылат.

Si, SiC жана GaN өсүшү сыяктуу жарым өткөргүч эпитаксиалдык процесстерде планетардык пластина ташуучулары пластиналарды реакция зонасына ташуу үчүн негизги механикалык жана жылуулук платформасы катары кызмат кылат. Алардын оптималдаштырылган жылуулук өткөрүмдүүлүгү температуранын так бөлүштүрүлүшүн камсыз кылат, ал эми планетардык айлануу системасы бир нече пластиналар боюнча өсүү темптеринин, кошулмалардын кошулушунун жана кристаллдын сапатынын бирдейлигин камсыз кылат. SiC кубаттуу түзүлүштөрүн өндүрүүдө, ал тургай ±1-2% субстраттын температурасынын өзгөрүшү базалык тегиздиктин дислокациясынын тыгыздыгына жана түзмөктүн иштешине таасир этет. SiC менен капталган планетардык пластина ташуучулары тарабынан камсыздалган жылуулук бирдейлигин жогорулатуу фабрикаларга кемчилик тыгыздыгын азайтууга, калыңдыктын бирдейлигин жакшыртууга жана партиядан партияга түшүмдүүлүктү жогорулатууга жардам берет.

Эпитаксиалдык процесстерден тышкары, бул сусцептор химиялык буу чөктүрүү диффузиясында жана жылуулук менен күйгүзүү процесстеринде да маанилүү болуп, жылуулук булагы менен пластинанын бетинин ортосундагы туруктуу жылуулук интерфейси катары кызмат кылат. Анын калдыксыз, аз бөлүкчөлүү беттик мүнөздөмөлөрү узакка созулган жылуулук цикли учурунда булгануу коркунучун азайтып, пластиналарды чуңкурлардын пайда болушунан, бөлүкчөлөрдүн пайда болушунан же арткы булгануудан коргойт. Кадимки графит негизиндеги таяныч түзүлүштөрүнө салыштырмалуу, Semixlab компаниясынын SiC каптоо дизайны кызмат мөөнөтүн бир топ узартат, тазалоо жана оңдоо үчүн токтоп калуу убактысын кыскартат жана көп көлөмдүү өндүрүш линиялары үчүн чыгымдарды азайтат.

Ар бир Semixlab SiC менен капталган планетардык сусцептору жогорку тазалыктагы графит субстраттарын жана өнүккөн CVD SiC каптоо технологиясын колдонуу менен жасалып, каптаманын адгезия күчүн, калыңдыгынын бирдейлигин жана термикалык соккуга туруктуулугун камсыз кылат. Продукт жарым өткөргүч жабдууларды өндүрүүдө колдонулган алдыңкы эпитаксиалдык платформаларды эске алуу менен ыңгайлаштырылуучу өлчөмдөрдү жана конфигурацияларды сунуштайт. Semixlabдын техникалык кызматтары каптаманын иштешин баалоону, камеранын шайкештиги боюнча консультацияларды жана жашоо циклин башкарууну камтыйт, алар фабрикалардын кубаттуулугун кеңейтүүгө, өндүрүмдүүлүгүн сактоого жана жабдуулардын өндүрүш циклдерин жакшыртууга жардам берүү үчүн иштелип чыккан. Биз сиздин андан аркы суроолоруңузду чын жүрөктөн күтөбүз.