Жогорку тазалыктагы жүрөк-кан тамыр ооруларына каршы капталган тетиктерди сактоодо булгануунун алдын алуу

Таза продукция өндүрүү көйгөйү Жогорку тазалыктагы CVD SiC чийки заты тетиктерди тазалоо жана аларды өндүрүштөн баштап эпитакси системасына орнотууга чейин таза кармоо да маанилүү. Сактоо учурунда топтолгон чаңдын жана булгануунун аз өлчөмү пластиналарда кемчиликтерге алып келиши мүмкүн жана система ишке киргенде өндүрүш учурундагы өндүрүмдүүлүктү төмөндөтүшү мүмкүн. Көп учурда көйгөйлөр өндүрүш процессинин өзүнөн эмес, сактоодон келип чыгат. Сактоодогу булгануунун мисалы катары, инженерлер тазаланган сусцептор тетиктери ачык цехтин эшигинин жанында сакталганда булганганын байкашкан; жабдуулар кайра ишке киргизилгенде өндүрүш учурунда туруксуздук пайда болгон.

CVD SiC жана CVD TaC каптоо бөлүктөрүн тазалоочу бөлмөнүн таңгактоо стандарттары

Жогорку тазалыктагы туура таңгактоо Cvd sic каптоо or CVD TaC Капталган бөлүктөр жөн гана физикалык зыяндын алдын алуудан да көптү билдирет; ал каптоо учурунда алынган таза бетти коргоо үчүн. Көзгө көрүнбөгөн бөлүкчөлөрдүн изи эпитаксия учурунда пластинанын сапатына терс таасирин тийгизиши мүмкүн.

Таңгактоо процессинин биринчи кадамы оң басымга ээ жана жогорку эффективдүү аба чыпкалары менен таза чөйрөдө жүргүзүлүшү керек. Таза бөлмөдө ар дайым таза кийимдерди, анын ичинде бет каптарды кийүү керек, ал эми теринин бөлүкчөлөрүнүн, чаңдын же булалардын компоненттерге өтүшүнө жол бербөө үчүн ар дайым порошоксуз кол каптарды кийүү керек.

Таңгактоо үчүн колдонулган материалдар да абдан маанилүү. Адатта, компоненттерди эки эсе коргоо үчүн таза бөлмөдөгү желим баштыктардын эки катмары колдонулат; бирок, өтө назик бөлүктөр үчүн нымдуулукту жана атмосфералык булгоочу заттарды андан ары азайтуу үчүн вакуумдук же азоттук таңгактоо колдонулушу мүмкүн. Колдонулган коргоочу көбүк ошондой эле таза бөлмөгө коопсуз, аз газ бөлүп чыгаруучу материалдан жасалышы керек, бул сактоочу жайдан компонентке кошумча булгоочу заттардын чыгышына жол бербейт.

Мөөр басылгандан кийин, компоненттерди таңгактоо чөйрөсүнөн таза бөлмөдө гана алып чыгуу керек, ачык цехте эмес. Ашыкча таңгакталган компонентти ачуу аны кайра тазалоону талап кылган деңгээлге чейин булгашы мүмкүн.

Эгерде компоненттер туура таңгакталса, өндүрүштө колдонуу үчүн таза бойдон калат.

Жогорку тазалыктагы графит эпитаксиалдык бөлүктөрүн туура иштетүү ыкмалары

Жогорку тазалыктагы графит тетиктери абдан бышык көрүнгөнү менен, алардын бетинде кир, май жана нымдуулук топтолуп калууга жакын. Бул булгоочу заттар тетиктердин иштөө мөөнөтүндө байкалбай калышы мүмкүн, бирок кийинчерээк эпитаксияга таасир этиши мүмкүн.

Тетиктерди кармоо ар дайым порошоксуз, таза нитрил кол каптарын кийип жүргүзүлүшү керек. Жылаңач колдор эч качан тетиктерге тийбеши керек, анткени тери майлары тетиктин бетине өтө аз өлчөмдө жабышып калат жана кийинчерээк бетинен алып салуу кыйынга турушу мүмкүн.

Тетиктерге да этият мамиле кылуу керек. Аларды жөн гана столдон четинен көтөрүп алуу тетикте микроскопиялык жаракаларды калтырышы мүмкүн, алар дароо байкалбашы мүмкүн, бирок бир нече ысытуу циклинен кийин пайда болушу мүмкүн, жана аны дайыма эле көрө албасаңыз да, реактордун ичинде бөлүкчөлөр пайда болушу мүмкүн.

Ошондой эле, сиз белгилүү бир колдонуу үчүн ылайыктуу жана таза чөйрөдө болушуңуз керек. Эгерде тетиктер кармалып, жумушчу столдо калтырылса, аларды металл столго, картонго же чийки пластик бетине коюуга жол бербеңиз, анткени алар тетикке чаң жана булаларды чачыратышы мүмкүн.

Тетиктерди иштетүүдө аба агымын да эске алуу керек. Вентилятордон тетикке үйлөнгөн чаң же эшик ачык болсо, тетиктерде топтолушу мүмкүн, ошондуктан көптөгөн мекемелер тетиктерди иштетүү операцияларын ламинардык агым стендинин астында же таза жерде аткарышат.

Компоненттерди узак мөөнөттүү сактоо учурундагы нымдуулук жана кычкылдануу коркунучтары

Тетиктер (жогорку тазалыктагы графиттен жасалган) абдан жогорку сапатта көрүнгөнү менен, тетиктердин бетине кир, май жана нымдуулук түшүп калышы жана алардын иштөө мөөнөтү бою байкалбай калышы салыштырмалуу оңой, бирок кийинчерээк эпитаксиага таасир этет.

Тетиктерди ар дайым порошоксуз, таза, нитрил кол каптар менен кармоо керек. Тетиктерге эч качан жылаңач кол менен тийбеш керек, анткени тери майлары тетиктин бетине өтө аз өлчөмдө жабышып калат жана кийинчерээк кайра алуу өтө кыйын.

Ошондой эле тетиктерге ар дайым өтө кылдаттык менен мамиле кылуу керек. Тетиктерди четинен алып салуу эле бөлүктө микроскопиялык жаракалардын пайда болушуна алып келиши мүмкүн, алар бөлүк бир нече жылуулук циклдеринен өтмөйүнчө көрүнбөйт, ал эми жаракаларды көрө албасаңыз да, реактордун ичинде бөлүкчөлөрдүн пайда болушуна алып келиши мүмкүн.

Ошондой эле, колуңуздагы колдонуу үчүн таза, туура чөйрөдө болууга аракет кылышыңыз керек. Тетиктерди кармоо жана отургучта калтыруу, эгерде металл отургучта, картондо же даярдалбаган пластик бетинде калтырылбаса гана кабыл алынат, анткени чаң бөлүкчөлөрү тетикке чачырап кетет.

Аба агымын да эске алуу керек, ачык эшиктен улам желдеткич аркылуу же сырттан тетикке үйлөнгөн чаң бөлүкчөлөрү тетикке жабышып калышы мүмкүн, ошондуктан көптөгөн компаниялар бул тетиктерди иштетүү процесстерин жүргүзүү үчүн ламинардык агым отургучтарын же таза бөлмөнү колдонушат.

Ири сусцепторлорду жана газ менен калкып жүрүүчү дисктерди транспорттук коргоо

Чоң сусцепторлор жана газ менен калкып жүрүүчү дисктер чоң компоненттер болгону менен, эгерде алар туура эмес кармалса, ташуу учурунда дагы эле бузулуп калышы мүмкүн.

Жүк ташуудагы зыяндын көпчүлүгү чоң кырсыктан айырмаланып, титирөөдөн жана бирдей эмес басымдан келип чыгат. Чоң компоненттер жүк ташуу контейнеринде толук кармалып турушу керек жана узак убакыт бою саякаттап жүргөндө бир тарапка кыйшайып же ал тургай басым жасалса, реакторго зыян келтире турган компоненттин кыйшайышына алып келиши мүмкүн.

Чоң бөлүктөрүн коргоо үчүн, аларды кутучанын ичиндеги бүтүндөй компонентке жүктү бөлүштүрүү жана титирөөнү сиңирүү үчүн таңгактоо үчүн таза таңгактоочу материал менен толук бекитүү керек.

Нымдуулуктан коргоону да эске алуу керек. Мөөр басылган ички баштыктарды жана кургаткычты кошуу менен, таңгактоо, таңгактан чыгаруу жана жөнөтүү процессинде конденсациянын топтолушун алдын алууга болот.

Ошондой эле, кутучаларды жүк көтөргүчтөр жана көтөргүч жабдуулар аркылуу жылдыруу керек, ошол эле учурда аларды салыштырмалуу тегиз кармап туруу керек, ошондой эле ташуу этабында ички жүктү жылдырбоо үчүн кутучага басымды кармап туруу керек.

Эпитаксия реакторун орнотуудан мурун кирүүчү текшерүү стандарттары

Эпитаксия реакторуна коюудан мурун тетик менен көйгөйлөрдү аныктоонун акыркы мүмкүнчүлүгү - бул тетик кабыл алынганда.

Сакталгандан жана жөнөтүлгөндөн кийин тетик таза көрүнгөнү менен, реактор ысыганга чейин аныкталбай турган булгоочу заттар же майда кемчиликтер болушу мүмкүн.

Текшерүү процесси таза жерде жүргүзүлүшү керек, ал жерде таңгакты чаң чыгарбай ачууга болот. Андан кийин деталдарды күчтүү жарыктын астында жакшылап карап, кемчиликтерди, түсүнүн өзгөрүшүн, сынып калган бурчтарды же бузулган каптоолорду издөөгө болот.

Газ менен калкып жүрүүчү дисктер жана сусцепторлор сыяктуу ири компоненттердин тегиздигин жана туура өлчөмдөрүн текшерүү керек, анткени алардын бириндеги кичинекей өзгөрүүлөр иштөө көйгөйлөрүн жаратышы мүмкүн. Көптөгөн мекемелер тетикти реакторго коюудан мурун беттин тазалыгын да текшеришет.

Ар бир тетиктин сериялык номерлери жана сүрөттөрү сыяктуу деталдуу жазуулары, ошондой эле тетик акыры иштебей калганда же кийинчерээк көйгөйлөрдү жаратканда чоң жардам бере алат.

Кылдат текшерүү жөн гана бузулган тетиктерди кабыл алуудан баш тартууну камтыбайт. Бул инженерге өндүрүштүк көйгөйлөргө айланганга чейин майда көйгөйлөрдү табууга мүмкүндүк берет, бул процесстин туруктуулугун жакшыртат, күтүлбөгөн бузулууларды азайтат жана пластиналардын түшүмдүүлүгүн жогорулатат.