0200-09911 Quartz Cover Ring

AMAT 0200-09911 кварц капкак шакекчеси – плазмалык оюу системаларында колдонуу үчүн иштелип чыккан тактык менен иштелип чыккан жогорку тазалыктагы кварц компоненти. Ал оюу камерасына, айрыкча 200 мм пластина иштетүү платформаларында орнотулган коргоочу жана процессти жөнгө салуучу шакекче катары иштейт.

Өтө жогорку тазалыктагы эритилген кварцтан жасалган бул компонент төмөнкү өзгөчө жарым өткөргүч чөйрөлөр үчүн оптималдаштырылган:

● Жогорку энергиялуу плазманын таасири

● Реактивдүү химиялык газдар (мисалы, фтор негизиндеги химиялык заттар)

● Тез жылуулук циклинин шарттары

Semixlab Technology компаниясында бул продукт төмөнкүлөрдү катуу көзөмөлдөө менен жасалат:

● Материалдын тазалыгы (металлдык булгануу аз)

● Өлчөмдүү жол берилгендиктер (четки процессти башкаруу үчүн маанилүү)

● Беттик жасалгалоо (бөлүкчөлөрдүн пайда болушун минималдаштыруу)

Бул өнүккөн жарым өткөргүчтөрдү өндүрүү процесстеринде ырааттуу иштөөнү камсыз кылат.

Жалпы ката режимдери

Катаал плазма шарттарында иштеген керектелүүчү компонент катары, Кварц капкак шакеги бир нече бузулуу механизмдерине дуушар болот:

1. Плазма менен шартталган эрозия

● Иондук бомбалоонун натыйжасында беттин оройлугу

● Геометрияны өзгөртүүчү акырындык менен материалдык жоготуу

Таасири: Оёп чыгаруунун бирдейлигинин төмөндөшү жана процесстин туруксуз иштеши

2. Химиялык чөкмө жана булгануу

● Бетинде полимердин же кошумча продуктунун топтолушу

● Термикалык цикл учурунда кабырчыктардын же сыйрылып кетүү

Таасири: Бөлүкчөлөрдүн пайда болушу жана пластиналардын булганышы

3. Термикалык стресстен жарака кетүү

● Кайталанган жылытуу жана муздатуу циклдери микрожарыктарды пайда кылат

● Жаракалардын көбөйүшү структуралык бузулууга алып келет

Таасири: Күтүүсүз бузулуу жана пландаштырылбаган иштебей калуу

4. Бөлүкчөлөрдүн пайда болушу

● Кварцтын эскириши микро-сыныктарга алып келет

● Беттин деградациясы камерага бөлүкчөлөрдү чыгарат

Таасири: Түшүмдүүлүктүн төмөндөшү жана кемчиликтин көбөйүшү

Эмне үчүн Semixlab технологиясын тандашыңыз керек?

Semixlab Technology компаниясында биз төмөнкү натыйжаларды берүү үчүн жарым өткөргүчтөрдү иштетүү боюнча терең тажрыйбаны өнүккөн кварц өндүрүү мүмкүнчүлүктөрү менен айкалыштырабыз:

● Өтө таза иштетүү үчүн жогорку тазалыктагы кварц материалдары

● Так OEM шайкештиги үчүн так иштетүү

● Менчик наркын (CoO) азайтуу үчүн өмүр бою оптималдаштырылган иштөө

● Жарым өткөргүч фабрикасынын стандарттарына ылайыкташтырылган катуу сапатты көзөмөлдөө

Биздин алмаштыруучу тетиктер OEM спецификацияларына жооп берүү же андан ашып түшүү үчүн иштелип чыккан, бул талап кылынган оюу чөйрөсүндө үзгүлтүксүз интеграцияны жана ишенимдүү иштөөнү камсыз кылат.

Жабдуулардагы кызмат орду жана функционалдык ролу

Орнотуу орду

Кварц капкак шакеги, адатта, орнотулат:

● Вафли четинин айланасында

● Электростатикалык патрондун (ESC) периметринде же жанында

● Отоо камерасынын плазмага дуушар болуу зонасында

Ал фокустук шакекчелер жана көлөкө шакекчелери сыяктуу компоненттер менен бирге иштеп, четин башкаруучу түзүлүштүн бир бөлүгү катары иштейт.

Негизги функциялар

1. Камераны жана компоненттерди коргоо

Шакек курмандык тосмосу катары кызмат кылат, маанилүү компоненттерди (мисалы, ESC жана камеранын дубалдары) төмөнкүлөрдөн коргойт:

● Плазманы түз бомбалоо

● Химиялык коррозия

● Иондук чачыратуу

Бул камеранын баалуу компоненттеринин кызмат мөөнөтүн бир кыйла узартат.

2. Плазма четин башкаруу жана процесстин туруктуулугу

Инженердик геометрия (мисалы, тепкичтүү профилдер жана оюк элементтер) төмөнкүлөргө жардам берет:

● Плазма кабыгынын пластинанын четине жакын таралышын жөнгө салуу

● Четки таасирдин четтөөлөрүн минималдаштыруу

● Оёп чыгаруунун бирдейлигин жана CD (критикалык өлчөм) көзөмөлүн жакшыртуу

Бул, айрыкча, жогорку тактыктагы үлгүлөрдү которуу процесстеринде абдан маанилүү.

3. Газ агымын жана кошумча продуктуларды башкаруу

Капкак шакеги төмөнкүлөргө өбөлгө түзөт:

● Вафли четиндеги газ агымынын динамикасы башкарылат

● Каалабаган аймактарда полимердин топтолушун азайтты

● Узак процесстер учурунда камеранын шарттарын турукташтыруу

Бул түздөн-түз кайталануучулукту жана түшүмдүүлүктү жогорулатууну колдойт.