Жарым өткөргүчтүү кварц шакекчеси

Semixlab компаниясында биз кийинки муундагы жарым өткөргүчтөрдү иштетүү чөйрөлөрү үчүн иштелип чыккан жогорку тазалыктагы кварц компоненттерин иштеп чыгууга жана өндүрүүгө адистешкен. Алардын арасында Semixlab Жогорку тазалыктагы кварц шакеги пластинкаларды жасоонун бир нече баскычтарында маанилүү ролду ойнойт, мында өлчөмдүү тактык, химиялык тазалык жана жылуулук туруктуулугу процесстин натыйжалуулугуна жана аппараттын түшүмдүүлүгүнө түздөн-түз таасир этет.

Химиялык буу туташтыруу (CVD) системаларында, анын ичинде LPCVD, PECVD жана жогорку температурадагы SiC же Si эпитаксиялык реакторлордо - кварц шакекчеси сезгич менен реакция камерасынын ортосундагы структуралык жана функциялык интерфейс катары кызмат кылат. Анын негизги ролу реактивдүү газ агымын изоляциялоо, камеранын дубалдарына мителердин түшүүсүн азайтуу жана пластинанын айланасындагы жылуулук профилин турукташтыруу болуп саналат. Semixlab компаниясынын так жылмаланган кварцынын өзгөчө жылуулук бирдейлиги пластинка боюнча ырааттуу пленканын калыңдыгын жана беттин жогорку сапатын камсыз кылат. Материалдын оптикалык тунуктугу жана инфракызыл чагылуусу да жылытуу эффективдүүлүгүн жогорулатуу жана чөкүү зонасында температура градиенттерин азайтуу үчүн ылайыкташтырылышы мүмкүн.

Плазмалык оюу (Кургак оюу) процесстеринде кварц шакекчеси плазма эрозиясына жана иондук бомбалоого каршы коргоочу тосмо катары кызмат кылып, камеранын металл беттерин булгануудан жана бөлүкчөлөрдүн пайда болушунан коргойт. Катуу көзөмөлдөнгөн кошулмалардын спецификациялары боюнча (<1 ppm металлдык булгануу) өндүрүлгөн биздин жогорку тыгыздыктагы синтетикалык кварцыбыз агрессивдүү фтор жана хлор негизиндеги плазмалардын узак убакытка таасири астында да өлчөмдүү бүтүндүктү сактайт. Бул камеранын компоненттеринин иштөө мөөнөтүн бир кыйла узартат жана оюунун бирдейлиги жана CD (критикалык өлчөм) көзөмөлү үчүн маанилүү параметр болгон плазманын туруктуу бөлүштүрүлүшүн сактоого жардам берет.

Кычкылдануу жана диффузиялык мештердин ичинде Semixlab кварц шакекчелери вафли кайыктарын колдогон жана процесстин газ агымынын жолун аныктаган так тегиздөө жана изоляция элементтери катары иштейт. Алардын өтө төмөн жылуулук кеңейүү коэффициенти 1000 °C ашкан температурада кайталанган термикалык цикл учурунда стрессти азайтат. Натыйжада процесстин кайталануу жөндөмдүүлүгү жакшыртылып, кемчилик азаят жана жогорку температурадагы кычкылдануу же кошумча диффузия баскычтарында бөлүкчөлөрдүн булгануу коркунучу азайтылды.

Эпитаксиалдык өсүү процесстери үчүн, айрыкча SiC эпитаксисинде, кварц шакеги температуранын бирдейлигине жана химиялык изоляцияга салым кошот. Графиттин же SiC капталган сезгичтин айланасында жайгашып, ал чагылтуу жана камоочу компоненттин ролун аткарат, газдын чек ара катмарын калыптандырат жана пластинанын бетинде кошулма менен калыңдыгынын бирдейлигин жакшыртат. Жогорку термикалык туруктуулуктун, химиялык инерттүүлүктүн жана оптикалык туруктуулуктун айкалышы Semixlab кварц шакекчелерине суутекке бай атмосферада 1600 °Cге жакын температурада да өндүрүмдүүлүгүн сактоого мүмкүндүк берет.

Ондогон жылдар бою материал таануу тажрыйбасынын жана тактыктын натыйжасында, Semixlab компаниясынын Жогорку тазалыктагы кварц шакекчелери ишенимдүүлүктү, тазалыкты жана процесстин туруктуулугун жогорулатууну көздөгөн дүйнөлүк жарым өткөргүч өндүрүүчүлөр жана жабдууларды OEM үчүн ишенимдүү тандоо болуп калды. Ар бир компонент SEMI стандарттарына ылайык иштелип чыккан, ICP-MS элементардык анализи аркылуу текшерилген жана ISO сертификаты бар таза өндүрүш чөйрөсүндө иштетилген. Бул атрибуттар Semixlab кварц шакекчелеринин ырааттуу иштешин камсыздайт, токтоп калуу убактысын азайтат жана кардарларга процессти катуу көзөмөлдөөгө жана өнүккөн жарым өткөргүч өндүрүшүндө түзмөктүн жогорку түшүмдүүлүгүнө жетишүүгө жардам берет.